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溅射离子泵的寿命试验
高见进; 福本定吉; 陆经
1977
发表期刊真空技术报导
期号6页码:80-90
其他摘要KEK质子同步加速器的予注入器用了四个1000升/秒的溅射离子系来抽双等离子体离子源的大量气体负载。为了估计泵单元的寿命,一个500升/秒二极溅射泵在大约3×10-5乇氢气压力下运行1000小时以上。泵单元稍微作了改进以防止钛阴极板的变形。抽速由一个1Cm直径的园形小孔的两边压差来确定。即使钛板几乎没有变化,但抽速从开始时的500升/秒减小到试验终了时的350升/秒。化学分析表明氢分子不是均匀地扩散在整块钛板上的。
关键词质子同步加速器 溅射离子泵 寿命试验 泵单元 氢气压力 氢分子 阴极板 注入器 气流量 表面位
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220043
专题实验物理中心
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GB/T 7714
高见进,福本定吉,陆经. 溅射离子泵的寿命试验[J]. 真空技术报导,1977(6):80-90.
APA 高见进,福本定吉,&陆经.(1977).溅射离子泵的寿命试验.真空技术报导(6),80-90.
MLA 高见进,et al."溅射离子泵的寿命试验".真空技术报导 .6(1977):80-90.
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