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用残余气体分析仪测量和计算分压强
其他题名Measuring and Calculating the Partial Pressures with Residual Gas Analyzer
肖琼; 彭晓华
2008
发表期刊真空电子技术
期号5页码:16-17+21
通讯作者肖琼
其他摘要残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图,并给出各个质荷比峰的离子流值,但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强。在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上,本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系,从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式。
关键词残余气体分析 离子流 分压强
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/217853
专题加速器中心
推荐引用方式
GB/T 7714
肖琼,彭晓华. 用残余气体分析仪测量和计算分压强[J]. 真空电子技术,2008(5):16-17+21.
APA 肖琼,&彭晓华.(2008).用残余气体分析仪测量和计算分压强.真空电子技术(5),16-17+21.
MLA 肖琼,et al."用残余气体分析仪测量和计算分压强".真空电子技术 .5(2008):16-17+21.
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