多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究
饶雨生; 徐韬光
刊名真空科学与技术;
1999
期号A10页码:122-125
关键词离子源 冷阴极 离子束辅助淀积 薄膜 放电特性
中文摘要研制了新型多阳极永磁冷阴极离子源,它可用于低能离子束辅助淀积、离子束刻蚀和离子束表面改性等领域。该新型离子源具有引出束形状、密度分布易于改变管制的优点,从而能预期离子束轰击靶面上的密度分布。本文研究了几种多阳极结构,其单元阳极为矩形或圆形。论述了子阳极几何形状及它们的布局对放电的影响,阐明了放电特性与气压、磁场和阳极纵宽比的关系。文中特别讨论了子阳极间沟道的作用。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/217487
专题中国科学院高能物理研究所_加速器中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_加速器中心
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GB/T 7714
饶雨生,徐韬光. 多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究[J]. 真空科学与技术;,1999(A10):122-125.
APA 饶雨生,&徐韬光.(1999).多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究.真空科学与技术;(A10),122-125.
MLA 饶雨生,et al."多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究".真空科学与技术; .A10(1999):122-125.
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