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BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法
其他题名HIGH SENSITIVITY LEAK DETECTION BY QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER FOR UHV SYSTEM OF BEPC STORAGE RING
刘志满
1989
发表期刊真空
期号6页码:1--3
通讯作者刘志满
其他摘要北京正负电子对撞机(BEPC)贮存环超高真空系统长约240米,由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后,真空度在烘烤前后分别达到10-7帕 和10-8帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏(与系统的体 积和泵的抽速比较)时,漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象,对系统进行高灵敏度检漏。
关键词真空检漏 质谱检漏仪
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/217139
专题加速器中心
推荐引用方式
GB/T 7714
刘志满. BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法[J]. 真空,1989(6):1--3.
APA 刘志满.(1989).BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法.真空(6),1--3.
MLA 刘志满."BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法".真空 .6(1989):1--3.
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