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薄膜测厚仪
王朝俊; 何景棠; 张英平; 郑志鹏; 唐孝威
刊名物理学报
1977
期号4页码:377-380
关键词薄膜测厚仪 薄膜厚度 有机薄膜 脉冲幅度 半导体探测器 醋酸乙烯 光学方法 能量损失 面密度 α粒子
其他题名THICKNESS GAUGE FOR THE MEASUREMENT OF THIN FOILS
通讯作者王朝俊
中文摘要许多物理实验要用很薄的膜,如薄靶、薄吸收片、薄窗等,并且要知道所用薄膜的厚度(或面密度)。测量薄膜厚度的方法有称重方法、光学方法、电学方法和放射性方法等。这些方法适用于测量不同厚度的薄膜,准确度也不同。我们制备了一台简便的α粒子薄膜测厚仪,并且用它测量了厚度从10微克/厘米~2到数百微克/厘米~2的VYNS有机薄膜的厚度(VYNS是氯乙烯和醋酸乙烯的共聚物)。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215705
专题院士_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_实验物理中心
中国科学院高能物理研究所_粒子天体物理中心
推荐引用方式
GB/T 7714
王朝俊,何景棠,张英平,等. 薄膜测厚仪[J]. 物理学报,1977(4):377-380.
APA 王朝俊,何景棠,张英平,郑志鹏,&唐孝威.(1977).薄膜测厚仪.物理学报(4),377-380.
MLA 王朝俊,et al."薄膜测厚仪".物理学报 .4(1977):377-380.
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