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电铸在LIGA技术中的应用
伊福廷; 晋明; 吴坚武; 冼鼎昌
刊名微细加工技术
1995
期号3页码:49-52
关键词微细加工,LIGA技术,电铸
其他题名FABRICATION OF MICROSTRUCTURES USING ELECTRODEPOSITION
通讯作者伊福廷
中文摘要近年来,电铸在微细加工中的应用得到了较快发展,尤其在近几年高速发展的LIGA技术的掩模加工和其应用产品中,该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合LIGA技术掩模的加工及其电铸产品,用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215221
专题院士_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
伊福廷,晋明,吴坚武,等. 电铸在LIGA技术中的应用[J]. 微细加工技术,1995(3):49-52.
APA 伊福廷,晋明,吴坚武,&冼鼎昌.(1995).电铸在LIGA技术中的应用.微细加工技术(3),49-52.
MLA 伊福廷,et al."电铸在LIGA技术中的应用".微细加工技术 .3(1995):49-52.
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