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用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构
王俊; 崔明启; 徐文轩; 黄宇营; 王德武; 刘建飞; 冼鼎昌
刊名高能物理与核物理
1994
期号1页码:13-20
关键词同步辐射,磁控溅射,多层膜,小角衍射,结构分析
其他题名STUDY ON STRUCTURE OF MULTILAYERS BY SYNCHROTRON RADIATION SMALL ANGLE DIFFRACTION METHOD
通讯作者王俊
中文摘要用磁控溅射方法制备的W/Si、Nb/Si多层膜在北京正负电子对撞机同步辐射装置衍射实验站进行了掠入射Bragg衍射实验,对多层膜结构的周期性、周期厚度、组分等进行了分析,并与模拟计算结果进行了比较.
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215173
专题院士_期刊论文
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GB/T 7714
王俊,崔明启,徐文轩,等. 用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构[J]. 高能物理与核物理,1994(1):13-20.
APA 王俊.,崔明启.,徐文轩.,黄宇营.,王德武.,...&冼鼎昌.(1994).用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构.高能物理与核物理(1),13-20.
MLA 王俊,et al."用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构".高能物理与核物理 .1(1994):13-20.
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