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微细加工新技术—LIGA技术
其他题名LIGA TECHNIQUE FOR MICROSTRUCTURE FABRICATION
伊福廷; 吴坚武; 冼鼎昌
1993
发表期刊微细加工技术
期号4页码:1--7
通讯作者伊福廷
其他摘要LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步辐射X光有非常好的平行性、极高的辐射强度、连续的光谱,使这项技术能够制造出高宽比大到100、厚度可达几百微米、结构侧壁平行线偏差在亚微米范围内的微米级三维立体结构。通过电铸、塑铸就可将这一结构转换成金属或塑料的微结构产品。 这项技术在短短几年的发展过程中,已制造出电机、齿轮、发动机、涡轮、联杆、单色器、光纤联接器、电联接器、喷嘴、泵、阀、加速度传感器等微型结构与器件,被...
关键词同步辐射曝光 电铸 塑铸 微细加工
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215152
专题院士
多学科研究中心
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GB/T 7714
伊福廷,吴坚武,冼鼎昌. 微细加工新技术—LIGA技术[J]. 微细加工技术,1993(4):1--7.
APA 伊福廷,吴坚武,&冼鼎昌.(1993).微细加工新技术—LIGA技术.微细加工技术(4),1--7.
MLA 伊福廷,et al."微细加工新技术—LIGA技术".微细加工技术 .4(1993):1--7.
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